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Michell Pura

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产品名称: Michell Pura
产品型号: Pura
产品展商: MICHELL密析尔
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简单介绍

Michell Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的专业经验,结合标准工业化的材料和制造流程,打造出的首个适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。 Michell Pura下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)


Michell Pura  的详细介绍

Michell Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的专业经验,结合标准工业化的材料和制造流程,打造出的首个适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。
Michell Pura下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)

亮点

  • 测量下限 -120°C 露点 (1 ppbV)
  • 测量稳定,重复性好
  • 高度集成的采样装置
  • 模拟和数字输出
  • 安装简便
  • VCR 过程接口
  • 设计紧凑小巧
  • 显示/报警单元可选
  • 技术指标

    传感器
    传感器类型 密析尔陶瓷湿度传感器
    量程 -120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C)
    精度 ±1°C   -40 ~ -60°C;
    ±2°C   -61 ~ -100°C;
    ±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)
    分辨率 0.1°C        -40 ~ -79.9°C;
    1°C           -80 ~ -100°C;
    1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C
    压力 最低 10-9 torr; 最大 24 MPa
    气体流量 1 ~ 5 Nl/min
    电气
    电源 通常 24 V DC, 最低10 V ~ 最高28 V , 最大电流 25 mA
    输出 4-20 mA 输出, 对应范围可由专用软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供)
    最大负载 = 100 Ω + 50 Ω x (V 电源 -8)
    输出出错状态 标准输出出错信息如下: 23 mA = 传感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
    机械性能
    传感器套筒 不锈钢, 0.1-0.2 Ra µm 电镀内抛光
    气路连接端口 Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口
    Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口
    安装配置 Premium 或 OEM 型: 120.00mm 长, 气路端口的端面密封. 无需预留管路空隙
    底座上有 2 个 M4 x 0.7, 7mm 深的安装孔, 斜对面横竖间距均为 20 x 20mm
    Michell Pura Sensor 型: 适用于用户提供的 ½" VCR 端口中
    尺寸 Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
    Pura Sensor 型: 132 x 35mm
    重量 Premium 或 OEM 型: 450g
    Michell Pura Sensor 型: 180g
    包装 Michell Pura: 双层包装, 惰性气体填充密封
    Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 单层包装
    所有选配件: 独立包装运输
    Sensor 型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操作

     

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